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作者(中文):談柏宏
作者(外文):Tan, Po-Hung
論文名稱(中文):應用於叉指狀電容耦合型浮動閘極之半導體型二氧化氮氣體感測器之研究
論文名稱(外文):A Study of MOS type NO2 Gas Sensor by Interdigital Capacitor Coupled Floating Gate Technology
指導教授(中文):金雅琴
指導教授(外文):King, Ya-Chin
口試委員(中文):林崇榮
施教仁
口試委員(外文):Lin, Chrong-Jung
Shih, Jiaw-Ren
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:電子工程研究所
學號:108063514
出版年(民國):110
畢業學年度:109
語文別:中文
論文頁數:75
中文關鍵詞:二氧化氮氣體感測器室溫環境量測浮動閘極元件叉指狀電容耦合架構高靈敏度可調控之感測區間多重氣體感測
外文關鍵詞:SnSe2-based NO2 gas detectorroom temperature measurementfloating-gate field-effect transistormetal interconnect wiring structureshigh sensitivityadjustable dynamic rangemultiple gas detection
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