以相位回授技術實現可調式壓電微機電共振器__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	張晉瑜
作者(外文):	Chang, Chin-Yu
論文名稱(中文):	以相位回授技術實現可調式壓電微機電共振器
論文名稱(外文):	Tunable Piezoelectric MEMS Resonators via Phase Feedback Technique
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	方維倫李銘晃李尉彰鄭裕庭徐文祥邱一鮑世勇
口試委員(外文):	Fang, Weileun Li, Ming-Huang Li, Wei-Chang Cheng, Yu-Ting Hsu, Wensyang Chiu, Yi Pao, Shih-Yung
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	108035502
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	英文
論文頁數:	139
中文關鍵詞:	壓電微機電共振器、頻率控制、動態調變、相位回授、共振器、振盪器、相位雜訊、模態匹配式陀螺儀
外文關鍵詞:	Piezoelectric MEMS Resonators、Frequency Control、Dynamic Tuning、Phase Feedback、Resonator、Oscillator、Phase Noise、Mode-Matched Gyroscope
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