虛擬量測架構以推動工業3.5聰明生產與半導體製造之實證研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	潘縉緯
作者(外文):	Pan, Chin-Wei
論文名稱(中文):	虛擬量測架構以推動工業3.5聰明生產與半導體製造之實證研究
論文名稱(外文):	A Framework of Virtual Metrology to Empower Industry 3.5 Smart Production and an Empirical Study for Semiconductor Manufacturing
指導教授(中文):	簡禎富
指導教授(外文):	Chien, Chen-Fu
口試委員(中文):	李家岩許嘉裕
口試委員(外文):	Lee, Chia-Yen Hsu, Chia-Yu
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工業工程與工程管理學系
學號:	108034526
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	英文
論文頁數:	39
中文關鍵詞:	虛擬量測、聰明生產、決策分析、孤立森林、工業3.5
外文關鍵詞:	Virtual Metrology、Smart Production、Decision Analysis、Isolation Forest、Industry 3.5.
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