基於增量式學習之抽樣策略應用於半導體微影製程__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

圖書館首頁| 網站地圖| 首頁| 本站說明| 聯絡我們| 相關資源| 台聯大論文系統| 操作說明 | English

帳號：guest(3.145.9.51) 離開系統

字體大小：

字級放大

字級縮小

預設字形

詳目顯示

第 1 筆 / 共 1 筆

第一頁

上一頁

下一頁

最後一頁

/1頁

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士論文系統

、以作者查詢全國書目

論文基本資料
電子全文

作者(中文):	許育珠
作者(外文):	Hsu, Yu-Chu
論文名稱(中文):	基於增量式學習之抽樣策略應用於半導體微影製程
論文名稱(外文):	Incremental-learning-based Sampling Strategies for the Lithography Process in Semiconductor Manufacturing
指導教授(中文):	廖崇碩
指導教授(外文):	Liao, Chung-Shou
口試委員(中文):	許嘉裕林義貴
口試委員(外文):	Hsu, Chia-Yu Lin, Yi-Kuei
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工業工程與工程管理學系
學號:	108034514
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	英文
論文頁數:	31
中文關鍵詞:	增量式學習、微影製程、疊對記號、覆蓋誤差、抽樣策略
外文關鍵詞:	Incremental Learning、Photolithography process、Overlay Mark、Overlay Error、Sampling Strategy
相關次數:	推薦:0 點閱:484 評分: 下載:0 收藏:0

(此全文20260923後開放外部瀏覽)
電子全文
中英文摘要

推文
推薦
評分
引用網址
轉寄

第一頁

上一頁

下一頁

最後一頁

相關論文

1.	半導體製造之動態調整的比例積分控制器及線寬與覆蓋誤差之實證研究
2.	探討產能設施位址選擇於大規模配銷網路之設計
3.	以新的型態學為基礎方法解決半導體產業晶圓圖相似度搜尋問題
4.	三維空間裝箱問題之最新下界值
5.	果蠅基因交互作用之視覺化與網絡分析平台建置
6.	即時路徑規劃：從演算法角度探討加拿大旅行者問題
7.	電動車路徑規劃問題
8.	以理論演算法角度探討動態地圖標記問題
9.	整合型能源資訊服務平台：再生能源產業預測與動態資料庫建置
10.	整合型資訊服務平台：應用視覺化與智慧分析技術於巨量資料分析之研究
11.	以理論演算法角度探討無線感測網路的排程問題
12.	運用高密度時間序列交通資訊的即時路徑規劃
13.	以公平策略探討即時旅行銷售員問題的近似演算法
14.	多重服務之工廠選址問題
15.	The Dynamic Bin Packing Problem Revisited

簡易查詢 | 進階查詢 | 論文瀏覽 | 熱門排行 | 管理/審核者登入