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論文基本資料
電子全文
作者(中文):
姜傑升
作者(外文):
Jiang, Jie-Sheng
論文名稱(中文):
具差動式靜電致動的壓阻式CMOS-MEMS共振器設計
論文名稱(外文):
Piezoresistive CMOS-MEMS Resonators with Differential Electrostatic Actuation
指導教授(中文):
李銘晃
指導教授(外文):
Li, Ming-Huang
口試委員(中文):
李昇憲
李尉彰
口試委員(外文):
Li, Sheng-Shian
Li, Wei-Chang
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
動力機械工程學系
學號:
108033618
出版年(民國):
111
畢業學年度:
110
語文別:
中文
論文頁數:
80
中文關鍵詞:
金氧半導體微機電
、
Lame mode
、
Saddle mode
、
電容式共振器
、
壓阻式量測
、
全差分量測
、
機械式陣列
外文關鍵詞:
CMOS-MEMS
、
Lame mode
、
Saddle mode
、
Capacitive resonator
、
Piezoresistive
、
Fully differential measurement
、
Mechanical-coupled array
相關次數:
推薦:1
點閱:77
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