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作者(中文):姜傑升
作者(外文):Jiang, Jie-Sheng
論文名稱(中文):具差動式靜電致動的壓阻式CMOS-MEMS共振器設計
論文名稱(外文):Piezoresistive CMOS-MEMS Resonators with Differential Electrostatic Actuation
指導教授(中文):李銘晃
指導教授(外文):Li, Ming-Huang
口試委員(中文):李昇憲
李尉彰
口試委員(外文):Li, Sheng-Shian
Li, Wei-Chang
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:108033618
出版年(民國):111
畢業學年度:110
語文別:中文
論文頁數:80
中文關鍵詞:金氧半導體微機電Lame modeSaddle mode電容式共振器壓阻式量測全差分量測機械式陣列
外文關鍵詞:CMOS-MEMSLame modeSaddle modeCapacitive resonatorPiezoresistiveFully differential measurementMechanical-coupled array
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