大氣電漿束移除函數模型建立與加工模擬__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	劉展羽
作者(外文):	Liu, Chan-Yu
論文名稱(中文):	大氣電漿束移除函數模型建立與加工模擬
論文名稱(外文):	Removal Function Modeling and Machining Simulation of Atmospheric Plasma Jet
指導教授(中文):	林士傑
指導教授(外文):	Lin, Shih-Chieh
口試委員(中文):	宋震國張高德
口試委員(外文):	Sung, Cheng-Kuo Chang, Kao-Der
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	108033580
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	中文
論文頁數:	113
中文關鍵詞:	大氣電漿蝕刻拋光、硬脆材料加工、能量束、移除函數
外文關鍵詞:	Atmospheric pressure plasma polish、plasma jet、fused silica、removal function
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