電容式微機電超聲波元件與介面電路之設計及實作__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	詹詠舜
作者(外文):	Chan, Yung-Shun
論文名稱(中文):	電容式微機電超聲波元件與介面電路之設計及實作
論文名稱(外文):	Design and Implementation of Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers Integrated with Interface Circuit
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	盧向成馮國華王地寶
口試委員(外文):	Lu, Shiang-Cheng Feng, Guo-Hua Wang, Di-Bao
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	108033533
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	中文
論文頁數:	90
中文關鍵詞:	CMOS-MEMS、電容式超聲波換能器、單一晶片系統整合、氮化鈦後製程、低雜訊放大器、超聲波發射器、接收器
外文關鍵詞:	CMOS-MEMS、CMUT、System on Chip、TiN-C Post Process、Low Noise Amplifier、CMUT Transmitter/ Receiver
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