調控氮化鈦鋁矽/氮化釩矽奈米多層薄膜之雙層週期以強化系統之機械性質及抗高溫磨耗特徵__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	王子珈
作者(外文):	Wang, Tzu-Chia
論文名稱(中文):	調控氮化鈦鋁矽/氮化釩矽奈米多層薄膜之雙層週期以強化系統之機械性質及抗高溫磨耗特徵
論文名稱(外文):	Improving the Mechanical and High Temperature Tribological Characteristics of Self-lubricating TiAlSiN/VSiN Multilayer Nitride Coatings via Tuning Bilayer Period
指導教授(中文):	杜正恭
指導教授(外文):	Duh, Jenq-Gong
口試委員(中文):	李志偉張麗君
口試委員(外文):	Lee, Jyh-Wei Chang, Li-Chun
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	材料科學工程學系
學號:	108031539
出版年(民國):	110
畢業學年度:	110
語文別:	英文
論文頁數:	118
中文關鍵詞:	多層薄膜、高溫抗磨耗薄膜、高溫抗磨耗機制、自潤滑系統
外文關鍵詞:	Multilayer nitride coating、High temperature tribological properties、Self-lubricating coating、Anti-wear mechanism
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