金屬團簇的合成與開發並應用於電子束微影與極紫外光微影__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	陳冠廷
作者(外文):	Chen, Kuang-Ting
論文名稱(中文):	金屬團簇的合成與開發並應用於電子束微影與極紫外光微影
論文名稱(外文):	Synthesis and Development of Various Metal Clusters Apply to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography
指導教授(中文):	劉瑞雄
指導教授(外文):	Liu, Rai-Shung
口試委員(中文):	邱博文許博淵
口試委員(外文):	Chiu, Po-Wen Shew, Bor-Yuan
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	化學系
學號:	108023540
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	中文
論文頁數:	213
中文關鍵詞:	金屬團簇、極紫外光微影、電子束微影、光阻
外文關鍵詞:	Cluster、Lithography、EUV、E-beam、Photoresist
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