由應變驅動相變的鐵電鉿鋯氧化物薄膜之定量分析：從異位到原位研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	高于晟
作者(外文):	Kao, Yu-Cheng
論文名稱(中文):	由應變驅動相變的鐵電鉿鋯氧化物薄膜之定量分析：從異位到原位研究
論文名稱(外文):	Quantitative Analysis on Strain-Driven Phase Transition of Ferroelectric Hafnium-Zirconium Oxide Thin Film: from Ex-Situ to In-Situ Study
指導教授(中文):	吳國安吳品鈞
指導教授(外文):	Wu, Kuo-An Wu, Pin-Jiun
口試委員(中文):	巫勇賢黃嘉宏邱上睿
口試委員(外文):	Wu, Yung-Hsien Huang, Jia-Hong Chiu, Shang-Jui Gururajan, Mogadalai-Pandurangan
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	物理學系
學號:	108022801
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	英文
論文頁數:	143
中文關鍵詞:	鐵電材料、鉿鋯氧化物、多重晶相、應變
外文關鍵詞:	ferroelectric material、HfZrO、polymorphism、strain
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