鐵電氧化鉿鋯鰭式電晶體非揮發性記憶體特性之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	藍冠旻
作者(外文):	Lan, Guan-Min
論文名稱(中文):	鐵電氧化鉿鋯鰭式電晶體非揮發性記憶體特性之研究
論文名稱(外文):	Investigation on Ferroelectric HfZrO2 FinFET Non-volatile Memory Characterization
指導教授(中文):	吳永俊林育賢
指導教授(外文):	Wu, Yung-Chun Lin, Yu-Hsien
口試委員(中文):	侯福居朱鵬維
口試委員(外文):	Hou, Fu-Ju Chu, Peng-Wei
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	108011703
出版年(民國):	111
畢業學年度:	110
語文別:	中文
論文頁數:	63
中文關鍵詞:	鐵電、氧化鉿鋯、鰭式電晶體、非揮發性記憶體
外文關鍵詞:	Ferroelectric、HfZrO2、FinFET、Non-volatile Memory
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