奈米雙晶銀導線之電遷移行為研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	林璁
作者(外文):	Lin, Tsung
論文名稱(中文):	奈米雙晶銀導線之電遷移行為研究
論文名稱(外文):	Electromigration Behavior of Nanotwinned Ag Interconnects
指導教授(中文):	歐陽汎怡
指導教授(外文):	Ouyang, Fan-Yi
口試委員(中文):	陳智廖建能
口試委員(外文):	Chen, Chih Liao, Chien-Neng
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	108011505
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	英文
論文頁數:	123
中文關鍵詞:	電遷移、雙晶薄膜、導線材料、濺鍍製程
外文關鍵詞:	Electromigration、Nanotwinned thin film、Interconnect material、Sputtering process
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