以16 奈米鰭式場效電晶體與三維奈米結構感測薄膜開發新穎多重離子感測器之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	劉昆霖
作者(外文):	Liou, Kun-Lin.
論文名稱(中文):	以16 奈米鰭式場效電晶體與三維奈米結構感測薄膜開發新穎多重離子感測器之研究
論文名稱(外文):	Novel Multi-Ion Detector by 3D Nanostructure Sensing Membrane and 16 nm FinFET CMOS Technology
指導教授(中文):	金雅琴闕郁倫
指導教授(外文):	King, Ya-Chin Chueh, Yu-Lun
口試委員(中文):	葉文冠謝光宇
口試委員(外文):	Yeh, Wen-Kuan Hsieh, Kuang-Yu
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	107063548
出版年(民國):	109
畢業學年度:	109
語文別:	英文
論文頁數:	72
中文關鍵詞:	離子、感測器、鰭式場效電晶體、耦合、靈敏度、氧化鋁、懸浮鍵
外文關鍵詞:	ion、sensor、FinFET、coupling ratio、sensitivity、calix[4]arene
相關次數:	推薦:0 點閱:284 評分: 下載:0 收藏:0

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