鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	蘇琦
作者(外文):	Su, Chi
論文名稱(中文):	鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測研究
論文名稱(外文):	On-chip In-Situ Detection of Plasma Induced Charging Effect in FinFET Technologies
指導教授(中文):	林崇榮
指導教授(外文):	Lin, Chrong-Jung
口試委員(中文):	金雅琴施教仁
口試委員(外文):	King, Ya-Chin Shih, Jiaw-Ren
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	107063538
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	中文
論文頁數:	83
中文關鍵詞:	電漿感應損害、電漿感應充電效應、電漿製程
外文關鍵詞:	Plasma Induced Damage、Plasma Induced Charging Effect、Plasma Process
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