有機半導體氣體感測器大面積製程開發__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	張仁豪
作者(外文):	Chang, Jen-Hao
論文名稱(中文):	有機半導體氣體感測器大面積製程開發
論文名稱(外文):	Large Area Process Development for Organic Semiconductor Gas Sensor
指導教授(中文):	洪勝富
指導教授(外文):	Horng, Sheng-Fu
口試委員(中文):	冉曉雯孟心飛
口試委員(外文):	Zan, Hsiao-Wen Meng, Hsin-Fei
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	107063529
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	中文
論文頁數:	94
中文關鍵詞:	氨氣感測器、微米柵狀電極、矽基板、晶圓代工
外文關鍵詞:	Ammonia sensor、micro-meter grid electrode、silicon substrate、wafer foundry
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