CMOS-MEMS共振式電容換能器平台開發與雙間隙CMUT陣列之實現__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	陳弘侑
作者(外文):	Chen, Hung-Yu
論文名稱(中文):	CMOS-MEMS共振式電容換能器平台開發與雙間隙CMUT陣列之實現
論文名稱(外文):	Platform Development of CMOS-MEMS Capacitive Resonant Transducer and Implementation of Dual-Gap CMUT Array
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	方維倫邱一李夢麟李尉彰吳名清王昱欣
口試委員(外文):	Fang, Wei-Leun Chiu, Yi Li, Meng-Lin Li, Wei-Chang Wu, Ming-Ching Wang, Yu-Hsin
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	107035507
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	英文
論文頁數:	255
中文關鍵詞:	金氧半導體微機電、電容式換能器、共振器、共振式換能器、增透膜(ARC)、氮化鈦(TiN)、金屬-絕緣層-金屬電容、運動阻抗、機電耦合、低直流偏壓、單晶片整合、轉阻放大器、振盪器、水下運作、電容式微加工超波換能器(CMUT)、水下超聲波收發器、換能器相控陣列、可調增益介面放大電路
外文關鍵詞:	CMOS-MEMS、Capacitive transduction、Resonator、Resonant transducer、Anti-reflection coating (ARC)、Titanium Nitride (TiN)、MIM capacitor、Motional impedance、Electromechanical coupling、Low DC bias、Monolithic、Transimpedance amplifier、Oscillator、Underwater、Capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)、Underwater ultrasonic transceiver、Transducer phased array、Tunable-gain interface amplifier
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