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作者(中文):鄭博之
作者(外文):Cheng, Po-Chih
論文名稱(中文):壓電傳感之勞倫茲力共振式磁力計開發
論文名稱(外文):Development of Piezoelectric MEMS Lorentz Force Resonant Magnetometer
指導教授(中文):李昇憲
指導教授(外文):Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):方維倫
鄭裕庭
口試委員(外文):Fang, Wei-Leun
Cheng, Yu-Ting
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:奈米工程與微系統研究所
學號:107035504
出版年(民國):109
畢業學年度:109
語文別:中文
論文頁數:115
中文關鍵詞:PZT 鈦鋯酸鉛、AlN氮化鋁、壓電薄膜共振器、勞倫茲力、磁力感測器
外文關鍵詞:Lead-Zirconate-Titanate (PZT)、Aluminum Nitride (AlN)、Piezoelectric MEMS Resonators、Lorentz Force、Magnetometer
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