「前瞻性的碳化矽半導體」長晶製程之自動化與智能化檢測__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	曾靖堯
作者(外文):	Tseng, Ching-Yao
論文名稱(中文):	「前瞻性的碳化矽半導體」長晶製程之自動化與智能化檢測
論文名稱(外文):	Automated and Intelligent Inspection of "Prospective Silicon Carbide Semiconductor" in Crystal Growth Process
指導教授(中文):	桑慧敏
指導教授(外文):	Song, Whey-Ming
口試委員(中文):	吳建瑋邱銘傳徐文慶
口試委員(外文):	Wu, Chien-Wei Chiu, Ming-Chuan Hsu, Wen-Ching
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工業工程與工程管理學系
學號:	107034556
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	中文
論文頁數:	35
中文關鍵詞:	前瞻性的碳化矽半導體、人工智慧、自動化與智能化檢測、影像辨識、物件偵測模型、氫氧化鉀 (KOH) 蝕刻
外文關鍵詞:	Prospective Silicon carbide (SiC) semiconductor、Artificial intelligence、Automated and intelligent inspection、Image recognition、Object detection、Potassium hydroxide (KOH) etching
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