創新前饋-回饋批次控制器以推動工業3.5聰明生產與半導體製造之實證研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	楊韻玄
作者(外文):	Yang, Yun-Hsuan
論文名稱(中文):	創新前饋-回饋批次控制器以推動工業3.5聰明生產與半導體製造之實證研究
論文名稱(外文):	A Novel Feedforward-Feedback Run-to-Run Controller to Empower Industry 3.5 Smart Production and an Empirical Study for Semiconductor Manufacturing
指導教授(中文):	簡禎富邱銘傳
指導教授(外文):	Chien, Chen-Fu Chiu, Ming-Chuan
口試委員(中文):	吳吉政許嘉裕
口試委員(外文):	Wu, Jei-Zheng Hsu, Chia-Yu
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工業工程與工程管理學系
學號:	107034543
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	英文
論文頁數:	40
中文關鍵詞:	批次控制、前饋控制、比例-積分控制器、關鍵尺寸、工業3.5、聰明生產
外文關鍵詞:	R2R Control、Feedforward Control、PI Controller、Critical Dimension、Industry 3.5、Smart Production
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