入射角調變之法布立-培若干涉儀實現微型光譜儀__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	鄭銘景
作者(外文):	Cheng, Ming-Ching
論文名稱(中文):	入射角調變之法布立-培若干涉儀實現微型光譜儀
論文名稱(外文):	Implement Micro-spectrometer with Incident Angle Modulated Fabry-Pérot Interferometer
指導教授(中文):	方維倫
指導教授(外文):	Fang, Wei-leun
口試委員(中文):	李昇憲孫志銘
口試委員(外文):	Li, Sheng-Shian Sun, Chih-Ming
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	107033597
出版年(民國):	109
畢業學年度:	109
語文別:	中文
論文頁數:	126
中文關鍵詞:	法布立-培若干涉儀、光電二極體、微型光譜儀、微光機電系統、晶圓接合
外文關鍵詞:	Fabry-Perot interferometer、photodiode、micro-spectrometer、MOEMS、wafer bondong
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