基於氣溶膠噴射雙壓電薄膜致動器之微機電光學掃描儀__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	李名耀
作者(外文):	Li, Ming-Yao
論文名稱(中文):	基於氣溶膠噴射雙壓電薄膜致動器之微機電光學掃描儀
論文名稱(外文):	A MEMS-based optical scanner using aerosol jet printed PZT thin-film bimorph actuators
指導教授(中文):	王威智
指導教授(外文):	Wang, Wei-Chih
口試委員(中文):	李昇憲陳致真
口試委員(外文):	Li, Sheng-Shian Chen, Chih-Chen
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	107033566
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	英文
論文頁數:	135
中文關鍵詞:	微機電、壓電致動器、氣膠沉積法、光學掃描器、掃描內視鏡
外文關鍵詞:	MEMS、PZT Actuator、Aerosol Deposition、Optical Scanner、Scanning Endoscope
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