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作者(中文):林仲偉
作者(外文):Lin, Zhong-Wei.
論文名稱(中文):全整合熱致動壓阻式振盪器之介面電路設計
論文名稱(外文):Interface Circuit Design for Fully Integrated CMOS Thermal-Piezoresistive Oscillators
指導教授(中文):李昇憲
指導教授(外文):Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):邱一
方維倫
口試委員(外文):Chiu, Yi
FANG, WEI-LEUN
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:107033538
出版年(民國):109
畢業學年度:108
語文別:中文
論文頁數:65
中文關鍵詞:單晶片、介面讀取電路設計、致動式CMOS-MEMS振盪器、質量/細懸浮微粒感測系統、質量感測解析度、積體化與微型化
外文關鍵詞:System on Chip、Interface Read Circuit Design、Thermally Actuated CMOS-MEMS Oscillator (TPO)、Mass/Fine Particulate Matter Sensing System、Mass Resolution
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