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作者(中文):陳曉琪
作者(外文):Chen, Hsiao-Chi
論文名稱(中文):嵌入式微結構電容感測器應用於流體檢測
論文名稱(外文):Micropattern Embedded Capacitive Sensors for Flow Measurement Applications
指導教授(中文):黃振煌
周鶴修
指導教授(外文):Huang, Jen-Huang
Chou, Ho-Hsiu
口試委員(中文):林宗宏
李文亞
口試委員(外文):Lin, Zong-Hong
Lee, Wen-Ya
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學工程學系
學號:107032508
出版年(民國):109
畢業學年度:108
語文別:英文
論文頁數:93
中文關鍵詞:電容式壓力感測器金字塔形微結構濕蝕刻流體平台流體測量
外文關鍵詞:capacitive pressure sensorpyramidal microstructurepotassium hydroxide etchingfluidic platformflow measurement
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