透過在矽光子平台上整合氮化矽波導實現三維光學系統與積體光路晶片之封裝__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	蔡汶錡
作者(外文):	Tsai, Wen-Chi
論文名稱(中文):	透過在矽光子平台上整合氮化矽波導實現三維光學系統與積體光路晶片之封裝
論文名稱(外文):	Toward 3D Photonics by Integrating Silicon Nitride Waveguides on a Silicon Photonics Platform and PICs-Fiber Array Packaging
指導教授(中文):	李明昌
指導教授(外文):	Lee, Ming-Chang
口試委員(中文):	洪毓玨古凱寧
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	光電工程研究所
學號:	106066541
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	中文
論文頁數:	79
中文關鍵詞:	矽光子、氮化矽波導、順向耦合、邊緣耦合、封裝
外文關鍵詞:	silicon photonics、silicon nitride waveguide、adiabatic coupler、edge coupler、fiber array-to-chip packaging
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