二維材料光電特性探究與紫外光原子層沉積之溝渠填補__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	蕭名登
作者(外文):	Siao, Ming-Deng
論文名稱(中文):	二維材料光電特性探究與紫外光原子層沉積之溝渠填補
論文名稱(外文):	Exploration of 2D Optoelectronics and UV-assisted Atomic Layer Deposition for Gap Fill
指導教授(中文):	邱博文
指導教授(外文):	Chiu, Po-Wen
口試委員(中文):	李奎毅陳敏璋沈昌宏闕郁倫
口試委員(外文):	Lee, Kuei-Yi Chen, Miin-Jang Shen, Chang-Hong Chueh, Yu-Lun
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	106063804
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	163
中文關鍵詞:	二維材料、原子層沉積、二維摻雜、光偵測器、非揮發性記憶體、溝渠填補
外文關鍵詞:	2D material、Atomic layer deposition、2D doping engineering、Photodetector、Non-volatile memory、Gap-fill
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