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作者(中文):徐子軒
作者(外文):Hsu, Tzu-Hsuan
論文名稱(中文):基於CMOS-MEMS氮化鈦製程之低電壓CMUT設計與特性探討
論文名稱(外文):Design of a Low Bias Voltage CMUT Based on CMOS-MEMS TiN-C Process
指導教授(中文):李昇憲
指導教授(外文):Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):方維倫
李尉彰
口試委員(外文):Fang, Wei-Leun
Li, Wei-Chang
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:奈米工程與微系統研究所
學號:106035503
出版年(民國):108
畢業學年度:108
語文別:中文
論文頁數:116
中文關鍵詞:CMOS-MEMS、微機電電容式超聲波換能器、氮化鈦、單晶片機電整合、CMUT on CMOS
外文關鍵詞:CMOS-MEMS、CMUT、TiN-C、single chip integration、CMUT on CMOS
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