含應變工程與應力調控結構設計之鍺基平面式/鰭式場效電晶體效能模擬分析__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	黃北辰
作者(外文):	Huang, Pei-Chen
論文名稱(中文):	含應變工程與應力調控結構設計之鍺基平面式/鰭式場效電晶體效能模擬分析
論文名稱(外文):	Simulation-Based Performance Investigation of Germanium Planar/Fin-type Field Effect Transistor with Strain Engineering and Stress Regulation Structure Design
指導教授(中文):	李昌駿
指導教授(外文):	Lee, Chang-Chun
口試委員(中文):	張天立李敏鴻張書通廖洺漢
口試委員(外文):	Chang, Tien-Li Lee, Min-Hung Chang, Shu-Tong Liao, Ming-Han
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	106033854
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	117
中文關鍵詞:	平面式金氧半場效電晶體、鰭式電晶體、矽穿孔、應變工程、載子遷移率估算、有限元素分析、製程導向模擬、次模組化分析
外文關鍵詞:	Planar MOSFET、FinFET、TSV、Strain Engineering、Stress-induced mobility estimation、Finite Element Analysis、Process-oriented Simulation
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