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作者(中文):林政頴
作者(外文):Lin, Cheng-Ying
論文名稱(中文):多功能彩色共焦干涉系統之研發
論文名稱(外文):RESEARCH AND DEVELOPMENT OF A MULTI-FUNCTION CHROMATIC CONFOCAL INTERFEROMETRIC SYSTEM
指導教授(中文):王偉中
指導教授(外文):Wang, Wei-Chung
口試委員(中文):陳政寰
張禎元
口試委員(外文):Chen, Cheng-Huan
Chang, Jen-Yuan
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:106033564
出版年(民國):108
畢業學年度:108
語文別:中文
論文頁數:98
中文關鍵詞:多波長共焦干涉儀、多功能彩色共焦干涉系統、繞射式光學元件、即時量測能力、厚度量測
外文關鍵詞:Multi-wavelength Confocal Interferometer、Multi-function Chromatic Confocal Interferometric System、Diffractive Optical Element、Real-time Measurement、Thickness Measurements
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