磁控濺鍍製備氮化釩鉬薄膜之結構與性質研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	馮軼群
作者(外文):	Feng, Yiqun
論文名稱(中文):	磁控濺鍍製備氮化釩鉬薄膜之結構與性質研究
論文名稱(外文):	Synthesis and characterization of (V,Mo)N coatings deposited by magnetron sputtering
指導教授(中文):	黃嘉宏
指導教授(外文):	Huang, Jia-Hong
口試委員(中文):	呂福興李志偉林明澤張守一張銀祐
口試委員(外文):	Lu, Fu-Hsing Lee, Jyh-Wei Lin, Ming-Tzer Chang, Shou-Yi Chang, Yin-Yu
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	106011871
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	英文
論文頁數:	191
中文關鍵詞:	氮化釩鉬薄膜、氮流量、磁控濺鍍、破裂韌性、摩擦學性質
外文關鍵詞:	Vanadium molybdenum nitride、Nitrogen flow rate、Magnetron sputtering、Fracture toughness、Tribological properties
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