摘要
三氟化氮NF3（Nitrogen Trifluoride）是半導體製程與面板製程，在化學氣相沉積CVD（Chemical Vapor Deposition）中用於清潔CVD機台腔體（Chamber）必要使用的特殊氣體，而隨製程演進、產能提升、清潔頻率提高或清潔時間增加，清潔製程用之三氟化氮氣體的用量必隨之增加，而當原趨於飽和的台、韓三氟化氮市場也因《中國製造2025》與《中國國家集成電路產業發展推進綱要》的推波助瀾下，中國面板廠與半導體製造公司如雨後春筍般的擴產或新建，亦使原趨於供需平衡的三氟化氮市場，可能再次面臨新進入者中國生產三氟化氮供應商的威脅與挑戰，本論文將從中國面板廠產能對三氟化氮需求的角度探討，三氟化氮供應商是否需要持續擴廠及可能面臨的風險。

關鍵詞：三氟化氮、化學氣相沉積、半導體、面板

Abstract
The NF3（Nitrogen Trifluoride）is a gas specially used for cleaning chambers in a chemical vapor deposition（CVD）process. Due to the increasing production capacity of the CVD process, the consumption amount and frequency of NF3 may also increase in the cleaning processes. Both Taiwan and Korea market, which have originally saturated, may also be affected by the plan “Made in China 2025” issued by China. The Chinese panel makers and semiconductor manufacturers have sprung up in planning, building, capping, trial production, and commissioning, which may break the supply-demand balance of the NF3 global market again. The NF3 supply may hardly meet the demand. This paper will explore:（1）whether the NF3 supplying should expand,（2）the possible risks brought by the expansion of NF3 supplying.

Keywords: Nitrogen Trifluoride, Chemical Vapor Deposition, Semiconductor, Panel

目錄
摘要 I
Abstract II
誌謝辭 III
目錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VIII
第壹章 緒論 1
第一節 研究背景與動機 1
第二節 研究目的 5
第三節 研究方法與限制 8
第貳章 文獻回顧 10
第一節 SWOT分析 10
第二節 五力分析 11
第三節 鑽石理論 14
第參章 產業簡介 17
第一節 三氟化氮產品概述 17
第二節 為何三氟化氮雀屏中選 19
第三節 電子特殊氣體，於半導體廠的應用 20
第四節 三氟化氮的主要特性 22
第五節 三氟化氮的主要生產方法 24
第六節 化學氣相沉積簡介 25
第七節 顯示器市場調查與分析 27
第八節 玻璃基板產業世代定義 29
第九節 顯示器產業之技術軌跡 32
第十節 韓國與兩岸顯示器發展狀況 42
第十一節 全球三氟化氮的生產現況與用量預估 55
第肆章 個案分析 60
第一節 S公司介紹 60
第二節 以波特五力分析模型分析S公司 62
第三節 以SWOT分析S公司 66
第四節 以鑽石理論分析S公司 68
第伍章 結論與討論 73
第一節 結論 73
第二節 討論 74
 
圖目錄
圖 1. IC製程圖 4
圖 2. 2009年~2020年 全球NF3的供應和需求（公噸） 5
圖 3. 電漿輔助化學氣相沉積系統 6
圖 4. 3D NAND的發展對NF3需求量的影響 6
圖 5. 面板廠從Full HD到Ultra HD發展 7
圖 6. 研究流程圖 8
圖 7. 五力分析模型 13
圖 8. 鑽石理論模型 15
圖 9. 三氟化氮分子的結構式 22
圖 10. 元素周期表，美國國家標準技術局發布 23
圖 11. HDP‑CVD（高密度電漿化學氣相沉積）反應室 25
圖 12. 2015年~2020年面板產能供給率（依產地） 27
圖 13. 玻璃基板尺寸與應用對應圖 31
圖 14. 液晶顯示器結構 34
圖 15. 液晶的基本光電特性 34
圖 16. LCD、OLED及Micro LED結構對比 36
圖 17. Normal LED與Ｍini LED比較 38
圖 18. Micro LED的側壁缺陷導致可用面積大幅縮小 40
圖 19. Micro LED生產過程 40
圖 20. 2009年~2020年全球NF3產能發展 59
圖 21. 2001年~2017年全球NF3的供給與需求情况 62
圖 22 . 現場氟氣發生器系統On-site Fluorine Generation System 64
圖 23. 氟氣產生方式 64
圖 24. S公司的五力分析 65
圖 25. 2015年三星SK Hynix記憶體全球市占率 70
圖 26. 2009年~2020年全球NF3的產業別用量（公噸） 75
 
表目錄
表 1. 2017年全球前十大純晶圓代工排名單位（百萬美元） 1
表 2. 2017Q4及2018Q1全球前三大DRAM市占率 2
表 3. 2014年及2015年全球前六大面板廠出貨量 3
表 4. 2016年及2017年全球電視面板出貨排名（單位千片） 3
表 5 台積電晶圓廠先進製程進度 7
表 6. SWOT分析表 10
表 7. 溫室氣體的全球暖化潛勢及其GWP數值及生命期 18
表 8. 半導體製程使用特殊氣體依氣體特性分類 20
表 9. 半導體製程使用特殊氣體依製程分類 21
表 10. 99.999% NF3 不純物規範 24
表 11. 2017Q1面板出貨面積與出貨數量比較 28
表 12. 一代線至六代線尺寸面積可切割計算 29
表 13. 六點五代線至十一代線尺寸面積可切割計算 30
表 14. Mini LED與Micro LED量產差距 39
表 15. LCD 、OLED 、Micro LED之比較 41
表 16. 三星顯示器廠別、代次、產線及產能 43
表 17. 樂金顯示器廠別、代次、產線及產能 44
表 18. AUO光電廠別、代次、產線及產能 46
表 19. 群創光電廠別、代次、產線及產能 49
表 20. 華映、翰彩與凌巨公司廠別、代次、產線及產能 50
表 21. 京東方科技公司廠別、代次、產線及產能 51
表 22. 天馬微電子公司廠別、代次、產線及產能 52
表 23. 華星光電公司廠別、代次、產線及產能 53
表 24. 中電熊貓公司廠別、代次、產線及產能 53
表 25. 惠科公司廠別、代次、產線及產能 54
表 27. 日本關東電化工業株式會社主要產品 56
表 26. 2009年~2020年全球NF3生產噸數與需求噸數 58
表 28. P公司三氟化氮氣體產品質量標準 63
表 29. 三氟化氮氣體產品質量標準比較 63
表 30. S公司的SWOT分析 66
表 31. 2016年Ｗorld Top 12 R&D investors 68
表 32. 2010年OECD法英德美日韓GDP投入教育比例 69
表 33. 2010年OECD法英德美日韓高等教育支出公私比例 69

參考文獻
1.Atkinson財經新聞 2018/6/1中國反壟斷立案調查，三星、SK 海力士、美光https://finance.technews.tw/2018/06/01/samsung-sk-hynix-micron-dram/最後瀏覽日期2018/6/11
2.中國國務院国家集成电路产业发展推进纲要 2014/6/24
3.中國國務院 中國製造2025 2015/5/8
4.蕭宏Hong Xian,Ph.D半導體製程技術導論修訂二版 365~441全華圖書
5. TRI拓墣 2017年全球前十大晶圓代工業者排名，台積電市占55.9%居第一2017/11/29 https://press.trendforce.com.tw/press/20171129-3677.html最後瀏覽日期2018/6/14
6.楊日興 陸突襲調查三星、海力士、美光 工商時報2018/6/2https://ctee.com.tw/news/viewcatenews.aspx?newsid=184979&cateid=kjmd最後瀏覽日期2018/6/14
7. TrendForce：2015年電視面板出貨近2.7億片，京東方爆發性年成長148.5%https://press.trendforce.com.tw/press/20160118-3075.html最後瀏覽日期2018/6/15
8.鉅亨網集邦 2017全球電視面板出貨量 群創守住 第三名 2018/1/23https://tw.money.yahoo.com/%E9%9B%86%E9%82%A6-2018%E5%B9%B4%E6%95%B4%E9%AB%94%E9%9B%BB%E8%A6%96%E9%9D%A2%E6%9D%BF%E5%87%BA%E8%B2%A8%E9%87%8F%E6%9C%89%E6%A9%9F%E6%9C%83%E5%AF%AB%E4%B8%8B%E6%AD%B7%E5%8F%B2%E6%AC%A1%E9%AB%98%E7%B4%80%E9%8C%84-085437452.html最後瀏覽日期2018/6/16
9.旺宏電子股份有限公司標準成本制度之規劃與設計http://jupiter.math.nctu.edu.tw/~weng/courses/IC_2007/PROJECT_MATH_CLASS1/7_TAIWAN_COMPANY_STORY/%A9%F4%A7%BB%B9q%A4l.htm最後瀏覽日期2018/6/16
10.慧盛官網 https://www.versummaterials.com/
11.關東電化官網http://www.kantodenka.co.jp/
12.曉星集團官網 http://www.hyosung.com/en/index.do
13.中船重工第七一八研究所官網http://www.peric.ac.cn/
14.黎明化工研究设计院有限责任公司官網http://www.hhlmy.chemchina.com/lmgh/index.htm
15.山东飞源科技有限公司官網http://www.sdfeiyuan.com/wap/
16.台積電30週年論壇八大科技界巨擘 預言半導體、AI大趨勢 遠見 https://www.gvm.com.tw/article.html?id=407262017/10/31最後瀏覽日期2018/6/18
17.北京雪球信息科技有限公司半导体材料之电子气体:国产化加速,竞争中龙头份额日增https://xueqiu.com/7231510314/86723306 2017/6/2最後瀏覽日期2018/6/18
18. MBA智庫SWOT分析模型（SWOT Analysis）http://wiki.mbalib.com/zh-tw/SWOT%E5%88%86%E6%9E%90%E6%A8%A1%E5%9E%8B
19.陳清稱 SWOT分析，讓「生意頭腦」全速運轉《Manager Today經理人月刊》https://www.managertoday.com.tw/glossary/view/15
20. MBA智庫波特五力分析模型 http://wiki.mbalib.com/zh-tw/%E6%B3%A2%E7%89%B9%E4%BA%94%E5%8A%9B%E5%88%86%E6%9E%90%E6%A8%A1%E5%9E%8B
21.林奐呈 經理人五力分析：剖析產業環境，掌握企業優勢2009/3/3《Manager Today經理人月刊》https://www.managertoday.com.tw/articles/view/1740
22.王京剛 2016 圖解大師 麥克波特競爭策略 18~33 達觀出版
23. MBA智庫波特鑽石理論模型 http://wiki.mbalib.com/zh-tw/%E6%B3%A2%E7%89%B9%E9%92%BB%E7%9F%B3%E7%90%86%E8%AE%BA%E6%A8%A1%E5%9E%8B
24.中華人民共和國國家標準 電子工業用氣體 三氟化氮 GB/T 21287-2007
25. Otto Ruff ,Wikipedia, the free encyclopedia https://en.wikipedia.org/wiki/Otto_Ruff最後瀏覽日期2018/6/18
26. Nitrogen trifluoride, Wikipedia, the free encyclopedia https://en.wikipedia.org/wiki/Nitrogen_trifluoride最後瀏覽日期2018/6/18
27.張勁燕著 半導體製程設備 五南文化事業2005
28.京都議定書 http://webgis.sinica.edu.tw/epa/kyoto.html最後瀏覽日期 2018/6/18
29.全球暖化潛勢- 维基百科，自由的百科全书
https://zh.wikipedia.org/wiki/%E5%85%A8%E7%90%83%E6%9A%96%E5%8C%96%E6%BD%9B%E5%8B%A2 最後瀏覽日期2018/6/18
30.王仕琦 工商時報科技辭典 三氟化氮 2000/3/13 http://forums.chinatimes.com/report/Climate/noun/htm/89031301.htm最後瀏覽日期2018/6/18
31.中華人民共和國國家標準 三氟化氮 GB/T 21287-2007 12~13
32.SK Materials NF3 SDS 安全資料表 2018版
33.王箴 2003 化工辭典 第四版 化學工業出版社 北京 264
34.王箴 2003 化工辭典 第四版 化學工業出版社 北京 792
35.彭立培，王少波，李绍波，付 嫚 2007三氟化氮純化方法綜述 中國船舶重工集團公司第七一八研究所
36.中華人民共和國國家知識財產局發明專利 申請公布說明書電解合成三氟化氮的方法2012-05-30 CN101624708B
37. Chap 8 化學氣象沉積CVD建德研究建德研究所資料/半導體提供檔案 http://waoffice.ee.kuas.edu.tw/download/%E5%BB%BA%E5%BE%B7%E7%A0%94%E7%A9%B6%E6%89%80%E8%B3%87%E6%96%99/%E7%94%B0%E5%8F%A3/%E7%94%B0%E5%8F%A3%E7%A4%BA%E7%AF%84/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E6%8F%90%E4%BE%9B%E6%AA%94%E6%A1%88/ 最後瀏覽日期2018/6/18
38.張育唐 陳藹然 化學氣相沉積法（Chemical Vapor Deposition）高瞻自然科學教學資源平台http://highscope.ch.ntu.edu.tw/wordpress/?p=40948最後瀏覽日期2018/6/18
39.中國大陸面板供 給率2017年 35.7%、超越台韓 國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心科技產業資訊室http://iknow.stpi.narl.org.tw/Post/Read.aspx?PostID=13743最後瀏覽日期2018/6/18
40.什麼是顯示屏面板的“世代”？三星顯示器官網 新聞中心 新聞資訊http://www.samsungdisplay.com/chn/media/news.jsp最後瀏覽日期2018/6/18
41.全球10.5代線如果順利量產每年新增產能7,700萬平方米，如何消化？中國電子報2017/3/17 https://kknews.cc/zh-tw/news/r9ovojn.html最後瀏覽日期2018/6/18
42.世界那麼大 液晶面板為什麼只有亞洲做由 中關村在線 發表于科技2016/11/1 https://kknews.cc/zh-tw/tech/n5kgmp8.html 最後瀏覽日期2018/6/18
43.王淑珍 台灣邁向液晶王國之秘 中國生產力中心 2003
44.啟耀光電官網 http://www.giotaiwan.com.tw/tw/about.html最後瀏覽日期2018/6/18
45.薄膜電晶體液晶顯示器 維基百科https://zh.wikipedia.org/wiki/%E8%96%84%E8%86%9C%E9%9B%BB%E6%99%B6%E9%AB%94最後瀏覽日期2018/6/18
46.AUO網站 顯示器解決方案 低溫多晶矽顯示器製程 https://www.auo.com/zh-TW/TFT-LCD_Introduction/index/LTPS_TFT_LCD 最後瀏覽日期2018/6/18
47.MoneyDJ理財網LTPS TFT-LCD（低溫多晶矽液晶顯示器）https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/wikiViewer.aspx?keyid=a48e03ea-edd0-4c42-b2fa-8757f08444ad 最後瀏覽日期2018/6/18
48.維基百科 橫向電場效應顯示技術https://zh.wikipedia.org/wiki/%E6%A9%AB%E5%90%91%E9%9B%BB%E5%A0%B4%E6%95%88%E6%87%89%E9%A1%AF%E7%A4%BA%E6%8A%80%E8%A1%93 最後瀏覽日期2018/6/18
49.有機發光二極體 維基百科https://zh.wikipedia.org/wiki/%E6%9C%89%E6%A9%9F%E7%99%BC%E5%85%89%E4%BA%8C%E6%A5%B5%E9%AB%94 最後瀏覽日期2018/6/18
50.有什么不一樣？AMOLED與OLED技術解析北京新浪網http://news.sina.com.tw/article/20120216/5862665.html最後瀏覽日期2018/6/18
51.黃慧雯 3C小學堂快速搞懂LCD與OLED面板差異 中時電子報2016/5/1 http://www.chinatimes.com/realtimenews/20160501001017-260412最後瀏覽日期2018/6/18
52.曾宛琳 郭台銘口中的IGZO跟OLED 一次看懂 聯合影音網2016/4/30 https://video.udn.com/news/482150 最後瀏覽日期2018/6/18
53.維基百科IGZO氧化銦鎵鋅https://zh.wikipedia.org/wiki/%E6%B0%A7%E5%8C%96%E9%8A%A6%E9%8E%B5%E9%8B%85 最後瀏覽日期2018/6/18
54.李淑惠 Mini LED 老技術醞釀新商機2017/10/8日工商時報http://www.chinatimes.com/newspapers/20171008000049-260202最後瀏覽日期2018/6/10
55.Mini LED MoneyDJ理財網財經知識庫https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/wikiViewer.aspx?keyid=5ba63f2b-1c91-4fb6-8a47-f593c0357870 最後瀏覽日期2018/6/10
56.Mini LED今年與OLED直接競爭，廠商布局動態全覽LEDinside 2018/4/30 https://www.ledinside.com.tw/news/20180430-35237.html最後瀏覽日期2018/6/13
57.林薏茹Micro LED即將顛覆產業的新一代顯示技術 科技新報2016/9/22 http://technews.tw/2016/09/22/micro-led-ledinside-forum-2016/最後瀏覽日期2018/6/10
58. Junko Yoshida MicroLED開啟顯示技術新頁 EE Times 2017/11/7 https://www.eettaiwan.com/news/article/20171107NT31-MicroLED-Pits-Big-Apple-Tiny-LED-Chips 最後瀏覽日期2018/6/10
59.中國LED網 MicroLED熱度「爆棚」，超小間距LED屏領域遭哄搶2017/6/1 由發表于科技https://kknews.cc/zh-tw/tech/xmq2yp8.html最後瀏覽日期2018/6/13
60.亞威信息 市面上QLED電視全假的？一文看懂什麼才是真的QLED電視發表于科學2017/9/1 https://kknews.cc/zh-tw/science/4pqkep3.html最後瀏覽日期2018/6/13
61.太平洋電腦網 顯示技術剖析 真正的QLED可以自發光 2017/2/22科技https://kknews.cc/zh-tw/tech/oyveq3m.html最後瀏覽日期2018/6/13
62.錢崗 產業漫談：從液晶產業談中國崛起2017/11/21 發表于資訊https://kknews.cc/news/bklxa5m.html 最後瀏覽日期2018/6/13
63.SAMSUNG DISPLAY官網https://www.samsungdisplay.com/chn/index/index.jsp 最後瀏覽日期2018/6/13
64. Samsung Display Co. MoneyDJ理財網財經知識庫https://www.moneydj.com/KMDJ/wiki/wikiViewer.aspx?keyid=ad60d715-78b2-4b0f-9b87-9d22483ee493 最後瀏覽日期2018/6/13
65. LG顯示 維基百科 https://zh.wikipedia.org/wiki/LG%E9%A1%AF%E7%A4%BA最後瀏覽日期2018/6/13
66.LG Display 百度https://baike.baidu.com/item/LG%20Display 最後瀏覽日期2018/6/18
67.王淑珍 台灣邁向液晶王國之秘 中國生產力中心 2003 173~177 202~205
213~215 222~227
68.黃惠娟 達碁科技：拚速度也拚士氣 遠見雜誌1999/9
69.廣輝電子 維基百科https://zh.wikipedia.org/wiki/%E5%BB%A3%E8%BC%9D%E9%9B%BB%E5%AD%90 最後瀏覽日期2018/6/13
70.群創光電 維基百科 https://zh.wikipedia.org/wiki/%E7%BE%A4%E5%89%B5%E5%85%89%E9%9B%BB 最後瀏覽日期2018/6/13
71. SEMI群創併購+三好激戰韓流聯合新聞網 2013/1/14http://www.semi.org/zh/node/35811 最後瀏覽日期2018/6/13
72.奇美電子 維基百科https://zh.wikipedia.org/wiki/%E5%A5%87%E7%BE%8E%E9%9B%BB%E5%AD%90 最後瀏覽日期2018/6/13
73.王淑珍 台灣邁向液晶王國之秘 中國生產力中心 2003 192~201
74.王淑珍 台灣邁向液晶王國之秘 中國生產力中心 2003 216~219
75.成章瑜 統寶光電勇做先鋒遠見雜誌2000年5月號 https://www.gvm.com.tw/article.html?id=7513 最後瀏覽日期2018/6/13
76.中華映管股份有限公司MoneyDJ理財網財經知識庫https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/WikiViewer.aspx?KeyID=246c3132-17c1-488e-95a2-04b5f57fb21c 最後瀏覽日期2018/6/18
77.王淑珍 台灣邁向液晶王國之秘 中國生產力中心 2003 187~191
78.京東方科技集團股份有限公司Money DJ 理財網 https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/WikiViewer.aspx?KeyID=d2dd6080-e2a0-41a6-9456-43caca932400最後瀏覽日期2018/6/18
79.京东方科技集团股份有限公司百度 https://baike.baidu.com/item/%E4%BA%AC%E4%B8%9C%E6%96%B9%E7%A7%91%E6%8A%80%E9%9B%86%E5%9B%A2%E8%82%A1%E4%BB%BD%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8 最後瀏覽日期2018/6/13
80.京東方官網http://www.boe.com/ 最後瀏覽日期2018/6/13
81.深圳天馬微電子股份有限公司 Money DJ 理財網 https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/WikiViewer.aspx?KeyID=e1e4e7c8-59c6-44d7-a262-e402e9c3ba5e 最後瀏覽日期2018/6/13
82.天马微电子股份有限公司官網http://www.tianma.cn/ 最後瀏覽日期2018/6/18
83.天马微电子股份有限公司百度https://baike.baidu.com/item/%E5%A4%A9%E9%A9%AC%E5%BE%AE%E7%94%B5%E5%AD%90/10042198 最後瀏覽日期2018/6/18
84.华星光电官網 http://www.szcsot.com/ 最後瀏覽日期2018/6/18
85. TCL集團股份有限公司 Money DJ 理財網 https://www.moneydj.com/KMDJ/wiki/wikiViewer.aspx?keyid=8f62c4d7-4293-403c-b40c-5ac607d4d782最後瀏覽日期2018/6/18
86.深圳之窗 深圳華星光電G11項目開工 將成全球最高世代面板生2016/12/1 由發表于財經https://kknews.cc/zh-tw/finance/jvjx9n6.html 最後瀏覽日期2018/6/18
87.南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 百度https://baike.baidu.com/item/%E5%8D%97%E4%BA%AC%E4%B8%AD%E7%94%B5%E7%86%8A%E7%8C%AB%E6%B6%B2%E6%99%B6%E6%98%BE%E7%A4%BA%E7%A7%91%E6%8A%80%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8 最後瀏覽日期2018/6/18
88.夏普宣布攜手中電熊貓在陸打造8.5代液晶面板廠Money DJ理財網2013/6/27 https://www.moneydj.com/KMDJ/News/NewsViewer.aspx?a=c1307509-cbe0-4ff9-9ad4-9a2a25f0af9c 最後瀏覽日期2018/6/18
89.中電熊貓G8.6液晶面板 刷新成都速度 2018/2/9中國時報電子報http://www.chinatimes.com/newspapers/20180209000161-260301最後瀏覽日期2018/6/18
90.惠科股份有限公司 官網http://www.szhk.com.cn/index.php?m=About&a=index&id=1最後瀏覽日期2018/6/18
91.陸面板商蓋11代廠 尬雙虎 2018/1/24 https://money.udn.com/money/story/5612/2946580最後瀏覽日期2018/6/18
92.慧盛材料股份有限公司Money DJ理財網 美股 https://money.moneydj.com/us/basic/basic0001/VSM最後瀏覽日期2018/6/18
93.Versum Materials NF3官網 https://www.versummaterials.com/tag/nf3/最後瀏覽日期2018/6/18
94. Kanto Denka Kogyo Co., Ltd. MoneyDJ理財網 https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/wikiViewer.aspx?keyid=9d5be10e-15cb-45b7-8364-a1d8bbc775e5最後瀏覽日期2018/6/18
95. KDK官網 http://www.kantodenka.co.jp/ 最後瀏覽日期2018/6/18
96. SK Materials 官網http://www.sk-materials.com/new/kor/html/main/最後瀏覽日期2018/6/18
97. SK Materials MoneyDJ理財網https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/WikiViewer.aspx?KeyID=b82425e5-996a-481f-a275-dddbe37230e0最後瀏覽日期2018/6/18
98. Hyosung Corp官網http://www.hyosung.cn/cn/index.do最後瀏覽日期2018/6/18
99. Hyosung Corp MoneyDJ理財網https://www.moneydj.com/KMDJ/Wiki/wikiViewer.aspx?keyid=d8fb0bc9-188a-43af-b1d7-2667483f4bad最後瀏覽日期2018/6/18
100.台塑企業企業客戶服務網http://crm.fpg.com.tw/j200/cus/pdt/Cc1p01.do?dc_btn_0=Func_View&dc_co_0=1&dc_div_0=1&dc_pdxuid_0=11_5HX1HSAACFE最後瀏覽日期2018/6/18
101.中国船舶重工集团有限公司第七一八研究所官網http://www.peric.ac.cn/gyxs.asp?id=3　最後瀏覽日期2018/6/18
102.中国船舶重工集团有限公司官網http://www.csic.com.cn/最後瀏覽日期2018/6/18
103.黎明化工研究設計院有限責任公司官網 http://www.hhlmy.chemchina.com/lmgh/index.htm最後瀏覽日期2018/6/18
104.中國化工集團公司 官網　http://www.chemchina.com.cn/portal/index.htm最後瀏覽日期2018/6/18
105.山東飛源科技有限公司http://www.sdfeiyuan.com/ 最後瀏覽日期2018/6/18
106. liu milo併購潮來襲韓廠也出手！SK 集團擬收購 OCI Materials 跨足半導體材料 2015/11/25 https://technews.tw/2015/11/25/sk-to-purchase-oci-materials/最後瀏覽日期2018/6/18
107.蘇彙棻SK集團收購OCI Materials 完成全製程整合Digtimes 2016/2/26https://www.digitimes.com.tw/TECH/DT/N/SHWNWS.ASP?ID=0000461515_QCZ4ZWCM2GPJHT40KOKYG 最後瀏覽日期2018/6/18
108.何世湧2016年全球半導體材料產業回顧與展望 工研院產經中心 https://www.materialsnet.com.tw/DocView.aspx?id=24850 最後瀏覽日期2018/6/18
109.七一八研究所特種氣體工程部 三氟化氮氣體產品質量標準http://www.pericsg.com/cpzsfb.asp?ID=58 最後瀏覽日期2018/6/18
110.氟發生器之安全管理2013年氣體製程安全研討會 行政院勞委會41~53
111. IRI The 2016 EU Industrial R&D Investment Scoreboard World 2500 http://iri.jrc.ec.europa.eu/scoreboard16.html 最後瀏覽日期2018/6/20
112.马陆亭 刘红宇 高教财政投入和社会投入占GDP比例的政策价值：《华中师范大学学报：人文社会科学版》2015年第20151期 http://www.cssn.cn/jyx/jyx_jyjjx/201506/t20150610_2028811.shtml 最後瀏覽日期2018/6/20
113.芯師爺 二十年超常規發展，你不了解的韓國半導體產業！科技 2016/12/30 https://kknews.cc/zh-tw/tech/zm9e4va.html 最後瀏覽日期2018/6/20
114. TrendForce：2017年DRAM整體產值年增76%，估2018年成長率將逾3成2018/2/13 集邦 https://press.trendforce.com.tw/press/20180213-3716.html 最後瀏覽日期2018/6/22
115. 鉅亨網2017Q3全球DRAM晶片市場 三星電子市占率居2017/12/7https://www.nownews.com/news/20171207/2658055 最後瀏覽日期2018/6/22
116. 黎蝸藤 黎蝸藤專欄：美國制裁中興一劍封喉 上報2018/4/21 https://www.upmedia.mg/news_info.php?SerialNo=39264 最後瀏覽日期2018/6/20
117. 專家：技術難超越＋美國私心 中國半導體業突破重圍長路漫漫 鉅亨網新聞中心2018/3/31 https://news.cnyes.com/news/id/4084037最後瀏覽日期2018/6/20