循環經濟的思維逐漸在全世界受到關注，以半導體產業為例，晶圓載具需在經過各式各樣的製程下，確保精細的半導體晶片的安全，並說明廢棄的晶圓載具如何利用精密的清洗設備與完善的檢驗流程，使晶圓載具可以回收循環利用，達到循環經濟應用於晶圓載具之模式及未來發展與趨勢。

Circular economy thinking has gradually attracted worldwide attention. Taking Semi-conductor industry as an example, wafer carriers application needs to ensure that the wafers are still safe under a variety of manufacturing processes. Furthermore, it explains how to recycle discarded wafer carriers by utilizing sophisticated cleaning equipment and a complete inspection process in order to achieve the circular economy applied in the wafer carrier recycling mode and future development & trends.

目錄
論文摘要……………………………………………… …….……….…..I
ABSTRACT…………………………………………………………….. II
誌謝.............................. III
目錄……………...…………….…………………………………….…. IV
圖目錄……………………………………………………………..….... VI
表目錄………………………………………………………...…..….…VII
第一章 緒論……………………………………………………………..1
第一節 研究動機與目的……………………………………..1
第一項 研究動機……………………..………….......1
第二項 研究目的……………………………….....…1
第二節 研究提問………………………………..…………....1
第三節 研究範圍與方法…………………………..….…..….1
第一項 研究範圍…………………………….……....1
第二項 研究方法………………………………….....1
第四節 研究流程………………………………………….....2
第二章 半導體產業介紹………………………………………….........3
第一節 半導體產業概述……………………………….........3
第一項 半導體簡介…………………………...…...3
第二項 半導體製造……………………………..…4
第三項 半導體產業鏈介紹……………….….…….5
第二節 晶圓製造………………………………….….….….10
第三節 晶圓載具……………………………………………13
第一項 晶圓載具概述……………………….…….13
第二項 晶圓載具類型介紹…………..….…….…..14
第三章 循環經濟介紹………………………………….….………......23
第一節 循環經濟概述…………………………….……….23
第二節 循環經濟效益……………………………………..30
第三節 循環經濟於晶圓載具之回收再利用……………..35
第一項 半導體製程中常用的化學藥劑……..…..35
第二項 清洗載具所需設備…………………...….38
第三項 清洗順序…………………………………42
第四項 清洗回收品質……………………………43
第四章 未來發展與展望……………………………………………....46
參考文獻………………………………………………………………..49

期刊

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