閘極全環場效電晶體於積層型三維積體電路之整合應用__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	謝東穎
作者(外文):	Hsieh, Tung-Ying
論文名稱(中文):	閘極全環場效電晶體於積層型三維積體電路之整合應用
論文名稱(外文):	The Integration of Gate-All-Around FET into Monolithic Three-Dimensional Integrated Circuits
指導教授(中文):	吳孟奇
指導教授(外文):	Wu, Meng-Chyi
口試委員(中文):	何文章劉柏村李峰旻楊智超林昆霖
口試委員(外文):	Ho, Wen-Jeng Liu, Po-Tsun Lee, Feng-Ming Yang, Chih-Chao Lin, kun-Lin
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	105063851
出版年(民國):	110
畢業學年度:	109
語文別:	英文
論文頁數:	130
中文關鍵詞:	晶粒邊界控制技術、混合式雷射輔助金屬矽化、積層型三維積體電路、閘極全環場效電晶體、雷射活化、雷射結晶
外文關鍵詞:	location-controlled-grain technique、hybrid laser-assisted salicidation、Monolithic Three-Dimensional Integrated Circuits、Gate-All-Around FET、laser annealing、laser crystallization
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