使用氮化鈦複合材料(TiN-C) CMOS 平台之MEMS 共振器技術探討__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	卡莉妮
作者(外文):	Kalyani S. Bhosale
論文名稱(中文):	使用氮化鈦複合材料(TiN-C) CMOS 平台之MEMS 共振器技術探討
論文名稱(外文):	A Comprehensive Study of MEMS Resonators Using Titanium Nitride Composite (TiN-C) CMOS Platform
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	⽅維倫邱⼀鄭裕庭盧向成李尉彰曾聖翔
口試委員(外文):	Fang, Weileun Chiu, Yi Cheng, Yu-Ting Lu, Shiang-Cheng Li, Wei-Chang Tseng, Sheng-Hsiang
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	105035860
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	英文
論文頁數:	143
中文關鍵詞:	CMOS-MEMS、電容傳導、共振器、氮化鈦 (TiN)、運動阻抗、機電耦合、功率負載、1-dB壓縮、振盪器、相位雜訊、共振式傳感器、線性和非線性MEMS、⾼次諧波⽣成、聲⼦頻率梳、頻率梳、內部共振
外文關鍵詞:	CMOS-MEMS、Capacitive transduction、Resonator、Titanium Nitride (TiN)、Motional resistance、Power handling、1-dB compression、Oscillator、Phase Noise、Resonant Sensor、Linear and Nonlinear electrostatic MEMS、Higher Harmonic Generation、Phononic Frequency Combs、Internal Resonance
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