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作者(中文):林美慧
作者(外文):Lin, Mei-Hui
論文名稱(中文):晶圓代工廠出貨檢驗抽樣計畫探討
論文名稱(外文):An Investigation of Foundry Fab Outgoing Inspection Sampling Plan
指導教授(中文):林哲群
指導教授(外文):Lin, Che-Chun
口試委員(中文):楊屯山
蔡錦堂
張焯然
口試委員(外文):Yang, Jerry T.
Tsay, Jing-Tang
Chang, Jow-Ran
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:經營管理碩士在職專班
學號:104076549
出版年(民國):106
畢業學年度:105
語文別:中文
論文頁數:43
中文關鍵詞:晶圓代工自動視覺檢測機(AVI)出貨檢驗抽樣方法
外文關鍵詞:Foundry FabAutomatic Visual Inspector(AVI)Outgoing InspectionSampling Method
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早期的半導體公司大都以一條龍的生產模式,從產品設計、晶圓製造、封裝、測試到終端成品銷售都自己一手包辦,稱之為整合元件製造商(Integrated Device Manufacturer, 俗稱 IDM),如英特爾 (Intel)、德州儀器 (TI)、摩托羅拉(Motorola)、三星 (Samsung)、菲利普 (Philips)、東芝 (Toshiba) 等等…..;台灣最初也是以IDM形式開啟半導體產業,隨著晶片製程微縮、晶圓尺寸成長,晶圓的設計與製作越來越複雜,所衍生的費用越來越高,若要建造一間晶圓廠動輒上億美金的經費,這不是一般中小型公司所能夠負擔得起;透過與晶圓代工廠合作模式,IC設計公司就可不必負擔高階製程龐大的研發與興建廠的費用,晶圓代工廠就能夠專注於製造,其產能也可提供予多個客戶,將市場波動、產能供需失衡的風險減到最小。
因此,在1980年末,半導體產業逐漸慢慢轉型走向專業分工的模式,將IC設計公司(Fabless)、晶圓代工(Foundry Fab)與封裝測試(Assembly Testing)切割,1987年,台灣第一家晶圓代工半導體製造廠台積電成立,因而扭轉了台灣半導體產業型態,晶圓代工可分擔IDM公司產能不足及高生產成本問題,使得IC設計公司能更專注於設計研發上,增強其競爭力。
本研究主要是針對晶圓代工廠出貨檢驗之自動視覺檢測機(AVI)抽樣方法進行分析,評選出適當的抽樣方法,提升70K的晶圓可用AVI機台檢驗,節省了1.6倍的人力。
At the early stage, semiconductor companies are mostly one by one consistent production process model, from IC design, wafer manufacturing, packaging, testing to the finished product sales are their own single-handedly, called the integrated device manufacturer;IDM, such as Intel, Texas, Motorola, Samsung, Philips, Toshiba and so on ..... Taiwan initially adopted the IDM model to open the semiconductor industry, Base on wafer process Shrink down, Wafer size continues to growing, wafer design and production more and more complex, the cost is getting higher, wafer factory costs a hundreds of millions of dollars, this is not a small and medium enterprises can afford it;The IC design company will not be able to afford the high cost of R & D and construction of the plant if cooperate with the foundry fab, and the foundry fab will focus on manufacturing and its capacity to provide to multiple customers, to minimum the risk of market volatility and capacity supply/demand imbalance.
Therefore, at the end of 1980, the semiconductor industry gradually transformed into a professional division of labor model, separate Fabless、foundry fab and assembly testing, Taiwan's first foundry semiconductor manufacturing plant TSMC was established in 1987, thus reversing the Taiwan semiconductor industry type, foundry can share IDM company the lack of capacity and high production costs, let IC design companies can focus more on design and development, enhance its competition.

This research is mainly to investigate the automatic visual inspector(AVI) sampling method of foundry fab outgoing inspection, and chooses the appropriate sampling method, increases 70K wafers to do AVI inspection and saves 1.6 times of manpower.
摘要 I
誌謝 IV
表目錄 VII
第一章 導論 1
第一節 研究背景 1
第二節 研究動機 2
第三節 研究問題 2
第二章 文獻探討 4
第一節 半導體產業供應鏈 4
第二節 晶圓代工前景 6
第三節 美軍標準與規範 7
第四節 MIL-STD-105計數值抽樣演進 10
第五節 抽樣檢驗 11
第六節 個案研究 13
第三章 晶圓代工廠檢驗技術 16
第一節 晶圓品質控管及檢驗流程 16
第二節 驗收抽樣系統 18
第三節 MIL-STD-105E計數值抽樣檢驗 20
第四章 實驗結果與分析 31
第一節 現況分析與評估 31
第二節 作業流程改善 32
第三節 研究方案分析與成果 35
第五章 結論與貢獻 40
第一節 研究結論與貢獻 40
第六章 參考文獻 42
1.陳婉儀,2016半導體產業年鑑 file:///C:/Users/user/Downloads/53053972.pdf。
2.台灣半導體產業內主要廠商與產業供應鏈http://nccur.lib.nccu.edu.tw/bitstream/140.119/38375/7/93290807.pdf
3.品質管制之歷史沿革 三民教育網
http://www.3people.com.tw/Resources/ExamPreparation/BusinessAdministration/ProductionAndQualityManagement/TQM.aspx
4.彭鴻霖 可靠度技術手冊
http://www.lcis.com.tw/paper_store./paper_store/%E5%8F%AF%E9%9D%A0%E5%BA%A6%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%89%8B%E5%86%8A-2014711213653820-2014717101825359.pdf
5.智庫百科 MIL-STD-105E
http://wiki.mbalib.com/zh-tw/MIL-STD-105E
6.抽樣計畫
file:///C:/Users/user/Downloads/pta_68005_5403842_80343.pdf
7.經濟部標準檢驗局 非自動衡器(機械式)檢定抽樣模式之研究
http://tainan.bsmi.gov.tw/wSite/public/Data/f1308548111290.pdf
8.黃凱亭,2014,自建產能或委外:晶圓代工廠建立測試產能的抉擇。清華大學科技管理研究所學位論文
9.姜泰全,2016,半導體製程的品質控管策略探討–以O公司為例。立清華大學高階經營管理碩士論文
10.張元碩,2009,晶粒表面缺陷自動視覺檢測系統之設計與開發。國立交通大學工業工程與工程管理學系碩士論文
file:///C:/Users/user/Desktop/論文/晶粒表面缺陷自動視覺檢測系統之設計與開發.pdf
11.郭晴菀,2008,晶圓出貨檢驗流程之標準化及電腦作業系統之構建。國立交通大學工業工程與工程管理學系碩士論文
file:///C:/Users/user/Desktop/論文/晶圓出貨檢驗流程之標準化.pdf
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