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論文基本資料
摘要
外文摘要
論文目次
參考文獻
電子全文
作者(中文):
鍾舒宇
作者(外文):
Chung, Su-Yu
論文名稱(中文):
應用六標準差提升TFT-LCD微影製程良率
論文名稱(外文):
Yield Improvement of Photo Engraving Process in TFT-LCD Using Six Sigma Methodology
指導教授(中文):
蘇朝墩
指導教授(外文):
Su, Chao-Ton
口試委員(中文):
許俊欽
林家銘
口試委員(外文):
Hsu, Chun-Chin
Lin, Chia-Ming
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
工業工程與工程管理學系碩士在職專班
學號:
104036523
出版年(民國):
107
畢業學年度:
106
語文別:
中文
論文頁數:
49
中文關鍵詞:
六標準差
、
田口方法
外文關鍵詞:
TFT-LCD
、
DMAIC
相關次數:
推薦:0
點閱:339
評分:
下載:0
收藏:0
薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)產業發展十數年,技術已成熟,近年來各國陸續設置大世代面板廠生產,面板業相關產業技術陸續開發應用,如車用屏幕顯示、戶外電子看板、醫療用X-ray顯示器等皆在廣泛運用領域中。面板業環境現階段面臨快速變遷的高風險中,業者必須具備快速的應變能力,方能在競爭激烈的環境中生存,在全球競爭激烈的紅海市場中,時間就是金錢,如何爭取時效,讓產品快速地進入量產且擁有穩定的品質,搶得市場先機與獨占地位,是企業的重要課題。
本研究以國內某TFT-LCD面板製造公司為例,針對某一新產品投貨初期出現膜面不均現象,探討如何導入六標準差的推行架構與流程,應用相關的工具與手法,並以田口方法找出最佳製程參數設定條件,解決新產品在新產品階段所面臨的問題,改善客戶抱怨,並將良率由89.14%提升至98.03%,同時改善TFT線寬變異,並順利量產並出貨。
During decades of years of development, the film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) manufacture process has been made great improvement. In recent years, global manufacturers have been set up large generation of LCD factories producing TFT-LCD related applications such as car screen display, electronic billboards and medical X-ray display. TFT-LCD industry is a highly competitive and rapid changing global market. Therefore, the ability to quickly mass-produced the product as well as to reach high quality plays a key role to enterprise success.
This study is based on a TFT-LCD manufacturer within problems in its new products pilot run stage. The project follows Six Sigma structure and process, from Define, Measure, Analyze, Improve to Control, to solve the problems at beginning of new product release. Finally, the problems are solved and improve the yield from 89.14% to 93.03%, and also improve critical dimension and its process capability. The new product finally turns out to mass production without schedule delay.
誌謝 I
摘要 II
Abstract III
目錄 IV
圖目錄 V
表目錄 VII
第一章 緒論 1
1.1 研究背景 1
1.2 研究動機 2
1.3 研究目的 3
1.4 研究架構 4
第二章 文獻探討 5
2.1 TFT-LCD技術 5
2.1.1 TFT-LCD顯示原理 5
2.1.2 TFT-LCD製作流程 8
2.2 六標準差簡介 10
2.3 田口方法簡介 11
第三章 研究方法 13
3.1 六標準差 13
3.2 田口方法 16
第四章 個案研究 20
4.1 個案公司介紹 20
4.2 定義 20
4.3 衡量 24
4.4 分析 27
4.5 改善 33
4.5.1 光阻均勻度改善 33
4.5.2 田口方法找出最佳製程參數 36
4.6 控制 41
4.7 效益分析 43
第五章 結論與建議 46
5.1 結論 46
5.2 未來研究方向 46
第六章 參考文獻 48
1. 蘇朝墩,2013,品質工程線外方法與應用。
2. 戴亞翔,2006,TFT-LCD面板的驅動與設計。
3. 古雪鈴、王拔群、鍾國彪、陳雅惠,2006,手術室應用六標準差改善流程時間之效益,醫護科技學刊8卷2期,頁99-109。
4. 林緯俊,2008,風力發電機營運診斷系統之研究,國立臺灣大學工程科學及海洋工程學研究所碩士論文。
5. 黃鴻偉,2015,應用六標準差於測量工程品質改善之研究,中興大學土木工程學系碩士論文。
6. 何孟蓉,2016,利用田口方法探討厭氧環境下生物降解1,2-DCA之環境因子影響,中興大學環境工程學系所碩士論文。
7. 趙再男,2008,應用六標準差改善中鋼W2球團造粒場製程品質之研究,高雄第一科技大學機械與自動化工程系碩士論文。
8. 林志良、林谷鴻,2009,晶圓切割製程的穩健設計—六標準差與田口實驗設計的應用,工程科技與教育學刊第6卷第2期,頁213-225。
9. 潘奕成,2014,以田口方法求解IC封裝檢測製程參數之穩健設計問題,國立成功大學工程管理碩士論文。
10. 蘇朝墩,2004,專訪世界品質大師田口玄一博士,品質月刊,第四十卷第三期,頁30-32。
11. 平面顯示器產業資訊網,http://www.display.org.tw/Situation,2017/09/27
12. IHS Markit, Driven by TV Size Migration, Large TFT Display Market Continues to Grow 6 Percent by Area in 2017, http://news.ihsmarkit.com/press-release/technology/driven-tv-size-migration-large-tft-display-market-continues-grow-6-percent-, 2017/10/21 view
13. 群創光電官方網站,http://www.innolux.com/Pages/TW/Technology/TFT_LCD_TW.html,2017/10/04 view
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