應用於射頻之壓電式微機電薄膜共振器設計與實現__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	嘉佳
作者(外文):	Pillai, Gayathri
論文名稱(中文):	應用於射頻之壓電式微機電薄膜共振器設計與實現
論文名稱(外文):	Design and Realization of Novel Piezoelectric-on-Substrate MEMS Resonators for RF Applications
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	方維倫邱一羅烱成李尉彰馮國華楊建成黃鈺同
口試委員(外文):	Fang, Weilun Chiu, Yi Lo, Chiung Li, Wei-Chiang Feng, Guo-Hua Yang, Jian-Cheng Huang, Y.-T.
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	104035880
出版年(民國):	109
畢業學年度:	108
語文別:	英文
論文頁數:	189
中文關鍵詞:	壓電元件、微機電、支撐樑、共振器、振盪器、濾波器
外文關鍵詞:	Thin film Piezoelectric-on-Substrate、MEMS、Support transducer、Resonator、Oscillator、Filter
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