圖書館首頁| 網站地圖| 首頁| 本站說明| 聯絡我們| 相關資源| 台聯大論文系統| 操作說明 | English
帳號：guest(18.218.221.126)          離開系統
字體大小： 字級放大   字級縮小   預設字形  

詳目顯示
第 1 筆 / 共 1 筆   第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁
/1頁
以作者查詢圖書館館藏、以作者查詢臺灣博碩士論文系統、以作者查詢全國書目
作者(中文):李雅筑
作者(外文):Lee, Ya-Chu
論文名稱(中文):透過CMOS-MEMS技術實現氣體感測元件
論文名稱(外文):Development of Gas Sensor Using CMOS-MEMS Technology
指導教授(中文):方維倫
指導教授(外文):Fang, Weileun
口試委員(中文):陳幹男
李昇憲
柯政浩
李智群
程世偉
蘇旺申
學位類別:博士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:103033874
出版年(民國):111
畢業學年度:110
語文別:中文
論文頁數:145
中文關鍵詞:CMOS MEMS、氣體感測器、螢光淬熄氣體感測器、金屬氧化物半導體氣體感測器、環境感測模組
外文關鍵詞:CMOS MEMS、gas sensor、fluorescence quenching gas sensor、semiconducting metal oxide gas sensor、environmental sensing module
相關次數:
  • 推薦推薦:0
  • 點閱點閱:515
  • 評分評分:*****
  • 下載下載:0
  • 收藏收藏:0
(此全文未開放授權)
電子全文
摘要
 
 
 
 
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top

相關論文
1. 車輛裝置用小型摩擦式過載離合器之設計
2. 利用<111>晶片製造之新型光訊衰減器
3. 解耦合微型振動陀螺儀之設計與分析
4. 微小型體聲波元件之設計與製造
5. CMOS製程整合電熱致動與壓阻感測之元件開發
6. 光學微機電製程平台技術開發:以靜電式垂直梳狀致動器驅動之微掃描面鏡為例
7. 鼓膜測試、奈米拉伸、與奈米壓痕量測薄膜機械性質之研究與比較
8. 整合UV膠微透鏡及MUMPs元件之SOI微光學平台
9. 微無邊界樑振動特性的探討與應用
10. 奈米壓痕系統於微懸臂樑彎矩測試之研究
11. 電磁感應渦電流於微機電系統之分析與應用
12. DAWN三維矽微加工製程平台及其應用
13. 新型SOG微加速度計之設計與機電系統整合探討
14. 熱致動式固態可調焦微透鏡
15. 靜電式與電熱式微鑷夾之特性探討與應用
 
  * 簡易查詢 | 進階查詢 | 論文瀏覽 | 熱門排行 | 管理/審核者登入
*
本系統共收集：論文全文：46338 筆、摘要：60721 筆
目前上線人數：1238 ／ 訪客人次（自104年7月）：18552563
國立清華大學圖書館著作權聲明 Copyright © 2010 All rights reserved.
本館地址：30013 新竹市光復路二段101號
電話：03-5742995
本網站最佳瀏覽解析度為 1024 x 768，建議瀏覽器 FireFox、Google Chrome、 IE7.0以上版本
資通安全政策 個資保護政策
* *