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論文基本資料
電子全文
作者(中文):
葉昕豪
作者(外文):
Yeh, Hsin-Hao
論文名稱(中文):
氮基化合物轉換二氧化矽效率在壓力與溫度變化時行為研究
論文名稱(外文):
Effects of annealing temperature and pressure on the nitride-based precursor conversion behaviors
指導教授(中文):
吳孟奇
指導教授(外文):
WU, MENG-CHYI
口試委員(中文):
張連璧
李峰旻
陳尚甫
盧峙丞
廖均浩
學位類別:
博士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
電子工程研究所
學號:
100061826
出版年(民國):
110
畢業學年度:
109
語文別:
英文
論文頁數:
63
中文關鍵詞:
氮基化合物
、
二氧化矽
外文關鍵詞:
nitride-based precursor
、
annealing
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