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作者(中文):葉昕豪
作者(外文):Yeh, Hsin-Hao
論文名稱(中文):氮基化合物轉換二氧化矽效率在壓力與溫度變化時行為研究
論文名稱(外文):Effects of annealing temperature and pressure on the nitride-based precursor conversion behaviors
指導教授(中文):吳孟奇
指導教授(外文):WU, MENG-CHYI
口試委員(中文):張連璧
李峰旻
陳尚甫
盧峙丞
廖均浩
學位類別:博士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:電子工程研究所
學號:100061826
出版年(民國):110
畢業學年度:109
語文別:英文
論文頁數:63
中文關鍵詞:氮基化合物二氧化矽
外文關鍵詞:nitride-based precursorannealing
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