新型單晶圓處理器在半導體製造上去除氮化矽介電膜的應用__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	張簡瑛雪
作者(外文):	Chang Chien, Ying-Hsueh
論文名稱(中文):	新型單晶圓處理器在半導體製造上去除氮化矽介電膜的應用
論文名稱(外文):	Development of a Novel Single-Wafer Processor in the Application of Silicon Nitride Dielectric Material Strip for Semiconductor Manufacturing
指導教授(中文):	胡啟章
指導教授(外文):	Hu, Chi-Chang
口試委員(中文):	萬其超溫添進嚴必明張進傳
口試委員(外文):	Wan, Chi-Chao Wen, Ten-Chin Yen, Bi-Ming Chang, Chin-Chuan
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	化學工程學系
學號:	100032820
出版年(民國):	108
畢業學年度:	108
語文別:	中文
論文頁數:	115
中文關鍵詞:	單晶圓處理器、磷酸、氮化矽、蝕刻、半導體
外文關鍵詞:	single wafer tool、phosphoric acid、silicon nitride、wet etch、semiconductor
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